为了让大家更好的理解氮化镓功率器件的工艺流程，这里准备了一个简化的耗尽型氮化镓功率器件的工艺步骤。第一步也是第一张光罩，是做平台型的隔离蚀刻；第二步，第二张光罩定义了源极和漏极；第三步是沉积源极和漏极的金属；第四步是玻璃和退火，形成源极和漏极金属；第五步，用第三张光罩来定义门极；第六步是做门极金属沉积；第七步是金属剥离，以形成门极金属；第八步是沉积氮化硅实现钝化和保护；第九步是使用第四张光罩来定义源极和漏极的接触；第十步是利用第五张光罩来定义场板；第十一步是金属剥离来形成场板，第十二部是沉积第二层氮化硅钝化层。
