氮化镓外延片工艺流程
时间:2023-04-12 作者: 分类:技术文章 浏览:890次

氮化镓外延片的衬底材料可以是硅、碳化硅或者是蓝宝石。外延层通常采用MOCVD的方式实现低成本、高产出率