简化的氮化镓生产工艺流程(耗尽型)

为了让大家更好的理解氮化镓功率器件的工艺流程,这里准备了一个简化的耗尽型氮化镓功率器件的工艺步骤。第一步也是第一张光罩,是做平台型的隔离蚀刻;第二步,第二张光罩定义了源极和漏极;第三步是沉积源极和漏极的金属;第四步是玻璃和退火,形成源极和漏极金属;第五步,用第三张光罩来定义门极;第六步是做门极金属沉积;第七步是金属剥离,以形成门极金属;第八步是沉积氮化硅实现钝化和保护;第九步是使用第四张光罩来定义源极和漏极的接触;第十步是利用第五张光罩来定义场板;第十一步是金属剥离来形成场板,第十二部是沉积第二层氮化硅钝化层。

本站使用百度智能门户搭建 管理登录